六氟化硫气体或再生气体的含水量必须严格控制，不得超过国家规定的标准。高纯六氟化硫在运行过程中含水量可能较高，但仍不能超过六种气体运行的国家标准限值。在再次充气气瓶之前，必须重新测量储存半年以上的气瓶的微小含水量。按照国家标准，高纯六氟化硫气体的含水量不得超过8ppm。

改善六氟化硫气体高压电器在组装、维护和检查过程中的环境条件，监测环境湿度，施工现场湿度不得超过80%。为了保持设备中绝缘部件和部件的清洁度，安装和维护人员必须遵守相关工艺要求，并在施工现场进行组装和维护。如果绝缘部件表面有污垢，绝缘电阻会降低到几个数量级，从而大大降低绝缘部件的表面放电应力。

通过实验和理论分析发现，如果绝缘体表面没有降低绝缘电阻的污垢，冷凝液本身就不能有效地提高表面的绝缘能力。换言之，绝缘部件的表面必须在组装和维护过程中保持清洁。丙酮可用于组装前清洁表面，绝缘部件的表面在使用过程中也需要经常清洁。对六氟化硫气体管道而言，需要适当的维护。为了防止水分进入设备，必须在充气前仔细清洗管道。

水对高纯六氟化硫气体和设备有重要影响。气体中的水分含量直接影响气体的绝缘电阻水平和设备的安全性。在设备中，必须严格控制气体中的微量水分含量。只有将六氟化硫气体中的微量水分含量控制在国家标准规定的范围内，才能减少水分对六氟化硫气体和设备的影响，保证气体的绝缘强度稳定，保证设备的安全运行。