氟化硫化学式为SF6，相对分子质量为146.06。它是一种无色、无味、无毒、无腐蚀、不燃、不爆炸的气体，密度约为空气的5倍，标准密度为6.086公斤/立方米。在低温和压力下，它会变成液体，冷冻成白色固体。其升华温度为-63.9℃，熔点为-50.8℃，临界温度为45.55℃，临界压力为3.759兆帕。

根据有关部门的实验和研究结果，六氟化硫气体的毒性主要来自五个方面。

(1)六氟化硫产品纯度较低，出厂时可能含有高毒性低氟化硫、氟化氢等有毒气体。

(2)电气设备中的六氟化硫气体在高温电弧作用下会产生一些有毒物质。

(3)电气设备中的六氟化硫气体分解物与水发生化学反应，产生一些有毒物质。

(4)电气设备中的六氟化硫气体、分解产物和电极(采用Cu)－W合金)和金属材料(如AL和Cu)会导致某些有害物质的产生。

（5）电气设备中的六氟化硫气体及其分解物会与绝缘材料发生化学反应，产生一些有毒物质。例如，它与环氧酚醛玻璃丝布板（棒、管）和其他含有硅的绝缘部件发生反应；或与环氧树脂浇注件、成型件、瓷瓶、硅橡胶、硅脂等材料发生化学作用，以石英砂和玻璃为填料，产生SiF4、Si(CH3)2F2和其他产品。

虽然六氟化硫是有毒的，但它有着广泛的应用。

六氟化硫是一种多用途气体，广泛应用于许多领域。首先，它被用作灭弧气体，可用于六氟化硫断路器、互导传感器和六氟化硫避雷针。其次，在镁铝合金压铸中，它也被用作保护气体。此外，在微电子技术领域，电子高纯度六氟化硫被用作理想的电子蚀刻气体。它还可以用作光纤制造中单膜光纤隔离层的混合物。在环境监测方面，它还可以用作空气污染监测和水文地质检测领域的示踪剂。最后，六氟化硫也可用作肝肿瘤超声造影剂。