高纯六氟化硫气体都适用于哪些行业？

发布日期：2024-05-06 17:26:13 来源: 本站 阅读量48

六氟化硫是一种无机化合物，化学式为SF₆，常温常压下为无色无臭无毒不燃的稳定气体，六氟化硫分子结构呈八面体排布，键合距离小、键合能高，因此其稳定性很高，在温度不超过180℃时，它与电气结构材料的相容性和氮气相似。

电子级高纯六氟化硫是一种理想的电子蚀刻剂，广泛应用于微电子技术领域，用作电脑芯片、液晶屏等大型集成电路制造中的等离子刻蚀及清洗剂。还可用作氮准分子激光器的掺加气体。在气象、环境检测及其他部门用作示踪剂、标准气或配制标准混合气。

在高压开关中用作灭弧和大容量变压器绝缘材料。也可用于粒子加速器及避雷器中。此外还作为一种反吸附剂从矿井煤尘中置换氧。

可用于有色金属的冶炼和铸造工艺，也可用于铝及其合金熔融物的脱气和纯化。在微电子业中，可用六氟化硫蚀刻硅表面并去除半导体材料上的有机或无机膜状物，并可在光导纤维的制造过程中，作为单膜光纤隔离层掺杂剂。

六氟化硫由于其化学稳定性好和对设备不腐蚀等特点，在冷冻工业上可用作冷冻剂（操作温度－45~0℃之间）。由于对α粒子有高度的停止能力，还用于放射化学。

在高压开关中用作灭弧和大容量变压器绝缘材料。也可用于粒子加速器及避雷器中。此外还作为一种反吸附剂从矿井煤尘中置换氧。

可用于有色金属的冶炼和铸造工艺，也可用于铝及其合金熔融物的脱气和纯化。在微电子业中，可用六氟化硫蚀刻硅表面并去除半导体材料上的有机或无机膜状物，并可在光导纤维的制造过程中，作为单膜光纤隔离层掺杂剂。

六氟化硫由于其化学稳定性好和对设备不腐蚀等特点，在冷冻工业上可用作冷冻剂（操作温度－45~0℃之间）。由于对α粒子有高度的停止能力，还用于放射化学。